Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета

Add to Quick Collection   All 2 Results

Showing items 1 - 2 of 2.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности
Authors: Иванова, Анна Ивановна | Корнева, Ольга Сергеевна | Дектярев, Сергей Валентинович | Гурулев, Александр Валерьевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2025. Т. 68, № 9. С. 108-111
Type: статьи в журналах
Date: 2025
Description: Представлены результаты исследований формирования глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности. Приведены результаты иссле ... More
Add   Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Authors: Вахрушев, Димитрий Олегович | Гурулев, Александр Валерьевич | Ефимов, Дмитрий Давидович | Иванова, Анна Ивановна | Корнева, Ольга Сергеевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 4. С. 134-137
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субм ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^