Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности

doi:10.17223/00213411/68/9/13

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности	346 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/68/9/13

#имплантация ионов

#энергетическое воздействие

#титан

#алюминий

Title: Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности
Title: Formation of deeply doped layers by repetitively-pulsed implantation of aluminum by high-power density titanium ion beams
Creator: Иванова, Анна Ивановна
|
Корнева, Ольга Сергеевна
|
Дектярев, Сергей Валентинович
|
Гурулев, Александр Валерьевич
Date: 2025
DOI: 10.17223/00213411/68/9/13
Description: Представлены результаты исследований формирования глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности. Приведены результаты исследования закономерностей накопления примеси в условиях изменения тепловых полей приповерхностного слоя за счет увеличения объема образца и применения дополнительного теплоотвода. Показано, что синергия высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия пучка ионов титана высокой плотности мощности 70 кВт/см2 на поверхность алюминия обеспечивает формирование ионно-легированного слоя глубиной около 5 мкм, что на два порядка больше длины проективного пробега. Исследованы распределение температурных полей в приповерхностном слое при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана и фазовый состав.