Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность | 329 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/66/4/17 |