Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

doi:10.17223/00213411/66/4/17

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность	329 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/66/4/17

#ионная имплантация

#энергетическое воздействие

#динамика температурных полей

#радиационно-стимулированная диффузия

#глубокое ионное легирование

Title: Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Title: Study of the synergy effects of high-intensity implantation of titanium ions into silicon and the energy impact of the ion beam on the surface
Creator: Вахрушев, Димитрий Олегович
|
Гурулев, Александр Валерьевич
|
Ефимов, Дмитрий Давидович
|
Иванова, Анна Ивановна
|
Корнева, Ольга Сергеевна
Date: 2023
DOI: 10.17223/00213411/66/4/17
Description: Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 4. С. 134-137
Language: rus

Created: 23-06-2023

1095 Visitors

1188 Hits

4 Downloads

Журналы ТГУ Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность