Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович | Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Владимир Иванович | Бутенко, Павел Николаевич | Щеглов, Михаил Петрович | Чикиряка, Андрей Викторович | Печников, Алексей Игоревич

Source: Физика и техника полупроводников. 2023. Т. 57, № 3. С. 145-152

Type: статьи в журналах

Date: 2023

Description: Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую ... More

Authors: Щемеров, Иван Васильевич | Поляков, Александр Яковлевич | Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Владимир Иванович | Кобелева, Светлана Петровна | Васильев, Антон Андреевич | Кирилов, Виктор Дмитриевич | Кочкова, Анастасия Ильинична | Копьев, Виктор Васильевич | Куланчиков, Юрий Олегович

Source: Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2023. Т. 26, № 2. С. 137-147

Type: статьи в журналах

Date: 2023

Description: Ga2O3 - широкозонный материал с рядом уникальных характеристик, которые делают его перспективным материалом фотоники: он оптически прозрачен для оптического и ближнего ультрафиолетового излучения, обл ... More