Authors: Щемеров, Иван Васильевич | Поляков, Александр Яковлевич | Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Владимир Иванович | Кобелева, Светлана Петровна | Васильев, Антон Андреевич | Кирилов, Виктор Дмитриевич | Кочкова, Анастасия Ильинична | Копьев, Виктор Васильевич | Куланчиков, Юрий Олегович

Source: Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2023. Т. 26, № 2. С. 137-147

Type: статьи в журналах

Date: 2023

Description: Ga2O3 - широкозонный материал с рядом уникальных характеристик, которые делают его перспективным материалом фотоники: он оптически прозрачен для оптического и ближнего ультрафиолетового излучения, обл ... More

Authors: Мочалов, Леонид Александрович | Кудряшов, Михаил Александрович | Поляков, Александр Яковлевич | Прохоров, Игорь Олегович | Вшивцев, Максим Анатольевич | Кудряшова, Юлия Павловна | Князев, Александр Владимирович | Алмаев, Алексей Викторович | Яковлев, Никита Николаевич | Черников, Евгений Викторович | Ерзакова, Надежда Николаевна

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66-73

Type: статьи в журналах

Date: 2023

Description: Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы ин ... More