Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

doi:10.17223/00213411/66/7/8

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/66/7/8

#тонкие пленки

#оксид галлия

#катодная люминесценция

#электрические свойства

Title: Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
Title: Physico-chemical and electrophysical properties of thin β-GA2O3:Zn films produced by the PECVD method
Creator: Мочалов, Леонид Александрович
|
Кудряшов, Михаил Александрович
|
Поляков, Александр Яковлевич
|
Прохоров, Игорь Олегович
|
Вшивцев, Максим Анатольевич
|
Кудряшова, Юлия Павловна
|
Князев, Александр Владимирович
|
Алмаев, Алексей Викторович
|
Яковлев, Никита Николаевич
|
Черников, Евгений Викторович
|
Ерзакова, Надежда Николаевна
Date: 2023
DOI: 10.17223/00213411/66/7/8
Description: Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При этом непосредственно высокочистые элементы – металлические высокочистые галлий и цинк, а также высокочистый кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Были изучены химический состав, морфология поверхности, спектры комбинационного рассеяния полученных тонких пленок β-Ga2O3:Zn, а также спектры катодной люминесценции и электрофизические свойства.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Радиофизический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66-73
Language: rus