Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета

Add to Quick Collection   All 2 Results

Showing items 1 - 2 of 2.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 : монография
Authors: Мочалов, Леонид Александрович | Кудряшов, Михаил Александрович | Князев, Александр Владимирович | Алмаев, Алексей Викторович | Слаповская, Екатерина Андреевна
Type: монографии
Date: 2024
Description: Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной си ... More
Add   Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
Authors: Мочалов, Леонид Александрович | Кудряшов, Михаил Александрович | Поляков, Александр Яковлевич | Прохоров, Игорь Олегович | Вшивцев, Максим Анатольевич | Кудряшова, Юлия Павловна | Князев, Александр Владимирович | Алмаев, Алексей Викторович | Яковлев, Никита Николаевич | Черников, Евгений Викторович | Ерзакова, Надежда Николаевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66-73
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы ин ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^