Add to Quick Collection
All 4 Results
Showing items 1 - 4 of 4.
Add All Items to Quick Collection
Source: Физика и техника полупроводников. 2023. Т. 57, № 3. С. 145-152
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description:
Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую
... More
Authors:
Николаев, Владимир Иванович |
Алмаев, Алексей Викторович |
Кушнарев, Богдан Олегович |
Печников, Алексей Игоревич |
Степанов, Сергей Игоревич |
Чикиряка, Андрей Владимирович |
Тимашов, Роман Борисович |
Щеглов, Михаил Петрович |
Бутенко, Павел Николаевич |
Черников, Евгений Викторович
Source: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 14. С. 37-41
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description:
Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 прояв
... More
Source: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 22. С. 24-27
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description:
Методами хлоридной парофазной эпитаксии и магнетронного распыления получены гетероструктуры α-Ga2O3/α-Cr2O3 со структурой корунда. Исследованы структурные, электропроводящие и фотоэлектрические свойст
... More
Source: Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55, № 3. С. 269-276
Type: статьи в журналах
Date: 2021
Description:
Исследовано влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость структур a-Ga2O3 и a-Ga2O3/"-Ga2O3. Полиморфные эпитаксиальные слои Ga2O3 осаждались методом хлоридной газофазной эпитаксии
... More
