Add to Quick Collection
All 2 Results
Showing items 1 - 2 of 2.
Add All Items to Quick Collection
Authors:
Мочалов, Леонид Александрович |
Кудряшов, Михаил Александрович |
Поляков, Александр Яковлевич |
Прохоров, Игорь Олегович |
Вшивцев, Максим Анатольевич |
Кудряшова, Юлия Павловна |
Князев, Александр Владимирович |
Алмаев, Алексей Викторович |
Яковлев, Никита Николаевич |
Черников, Евгений Викторович |
Ерзакова, Надежда Николаевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66-73
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description:
Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы ин
... More
Source: Физика и техника полупроводников. 2012. Т. 46, вып. 6. С. 820-828
Type: статьи в журналах
Date: 2012