Authors: Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Селиванова, Александра Васильевна | Конищев, Максим Евгеньевич | Гренадеров, Александр Сергеевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 143-150

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. ... More

Authors: Евдокимов, Кирилл Евгеньевич | Конищев, Максим Евгеньевич | Пичугин, Владимир Федорович | Пустовалова, Алла Александровна | Иванова, Нина Михайловна | Сунь, Чжилей

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 5. С. 21-29

Type: статьи в журналах

Date: 2017

Description: Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительн ... More

Authors: Конищев, Максим Евгеньевич | Кузьмин, Олег Станиславович | Пустовалова, Алла Александровна | Морозова, Наталья Сергеевна | Евдокимов, Кирилл Евгеньевич | Сурменев, Роман Анатольевич | Пичугин, Владимир Федорович | Эппле, Маттиас

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 10. С. 35-40

Type: статьи в журналах

Date: 2013

Description: Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для оса ... More