Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Соловьев, Андрей Александрович

Add to Quick Collection   All 4 Results

Showing items 1 - 4 of 4.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN
Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Сиделев, Дмитрий Владимирович | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения пок ... More
Add   Плазмохимический синтез аморфных углеводородных пленок, легированных кремнием, кислородом и азотом
Authors: Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Иванова, Нина Михайловна | Сыпченко, Владимир Сергеевич | Гренадеров, Александр Сергеевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 97-104
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description: Получены и исследованы аморфные углеводородные (a-C:H) пленки, легированные Si, O и N. Пленки наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенил ... More
Add   Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики
Authors: Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Селиванова, Александра Васильевна | Конищев, Максим Евгеньевич | Гренадеров, Александр Сергеевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 143-150
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description: Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. ... More
Add   Естественное окисление ультратонких пленок меди
Authors: Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович | Работкин, Сергей Викторович | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Степанов, Сергей Александрович (канд. физ.-мат. наук)
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 9. С. 88-93
Type: статьи в журналах
Date: 2017
Description: Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^