Authors: Захаров, Александр Николаевич | Павлов, Артем Павлович | Работкин, Сергей Викторович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 89-96

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Приводятся результаты экспериментального исследования разряда, формируемого дуальной (DU) магнетронной распылительной системой (МРС) с алюминиевыми мишенями в режиме пакетно-импульсного магнетронного ... More

Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Работкин, Сергей Викторович | Захаров, Александр Николаевич | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович | Елгин, Юрий Игоревич | Корнева, Ольга Сергеевна

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 21-25

Type: статьи в журналах

Date: 2017

Description: Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂ ... More

Authors: Захаров, Александр Николаевич | Соловьев, Андрей Александрович | Оскомов, Константин Владимирович | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Сыртанов, Максим Сергеевич | Бордулев, Юрий Сергеевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 65-69

Type: статьи в журналах

Date: 2017

Description: Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отлич ... More

Authors: Козырев, Андрей Владимирович (физик) | Сочугов, Николай Семенович | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Семенюк, Наталья Степановна

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2012. Т. 55, № 2. С. 61-67

Type: статьи в журналах

Date: 2012

Description: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбала ... More