Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Захаров, Александр Николаевич

Add to Quick Collection   All 5 Results

Showing items 1 - 5 of 5.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN
Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Сиделев, Дмитрий Владимирович | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения пок ... More
Add   Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
Authors: Захаров, Александр Николаевич | Павлов, Артем Павлович | Работкин, Сергей Викторович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 89-96
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description: Приводятся результаты экспериментального исследования разряда, формируемого дуальной (DU) магнетронной распылительной системой (МРС) с алюминиевыми мишенями в режиме пакетно-импульсного магнетронного ... More
Add   Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Работкин, Сергей Викторович | Захаров, Александр Николаевич | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович | Елгин, Юрий Игоревич | Корнева, Ольга Сергеевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 21-25
Type: статьи в журналах
Date: 2017
Description: Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂ ... More
Add   Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Authors: Захаров, Александр Николаевич | Соловьев, Андрей Александрович | Оскомов, Константин Владимирович | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Сыртанов, Максим Сергеевич | Бордулев, Юрий Сергеевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 65-69
Type: статьи в журналах
Date: 2017
Description: Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отлич ... More
Add   Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
Authors: Козырев, Андрей Владимирович (физик) | Сочугов, Николай Семенович | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Семенюк, Наталья Степановна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2012. Т. 55, № 2. С. 61-67
Type: статьи в журналах
Date: 2012
Description: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбала ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »

Creator

Date

Subject

^