Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Сиделев, Дмитрий Владимирович | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения пок ... More

Authors: Гренадеров, Александр Сергеевич | Оскомов, Константин Владимирович | Соловьев, Андрей Александрович | Работкин, Сергей Викторович | Захаров, Александр Николаевич | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Оскирко, Владимир Олегович | Елгин, Юрий Игоревич | Корнева, Ольга Сергеевна

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 21-25

Type: статьи в журналах

Date: 2017

Description: Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂ ... More