Add to Quick Collection
All 3 Results
Showing items 1 - 3 of 3.
Add All Items to Quick Collection
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description:
Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения пок
... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 97-104
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description:
Получены и исследованы аморфные углеводородные (a-C:H) пленки, легированные Si, O и N. Пленки наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенил
... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 143-150
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description:
Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона.
... More