Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Плазмохимический синтез аморфных углеводородных пленок, легированных кремнием, кислородом и азотом | 748 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/62/7/97 |