Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность | 290 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/65/11/65 |