Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
2014 | плазма

Add to Quick Collection   All 6 Results

Showing items 1 - 6 of 6.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 9. С. 80-85
Type: статьи в журналах
Date: 2014
Description: Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что э ... More
  • «
  • 1
  • »
^