Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы	478 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#фторполимеры

#пленки

#плазма

#электронная обработка

#термический отжиг

Title: Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
Creator: Лучников, Петр Александрович
Date: 2014
Description: Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическими параметрами их осаждения. Наиболее оптимальными свойствами получаемые пленки обладают при их конденсации в области температур ~ 373–386 К. Термический отжиг пленок в вакууме при 430–470 К улучшает их электрофизические параметры за счет реиспарения низкомолекулярных комплексов из структуры и снижения в ней концентрации дефектов и спин-радикалов, а отжиг в атмосфере воздуха приводит к образованию дополнительных полярных групп.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 9. С. 80-85
Language: rus