Приведены экспериментальные данные и теоретический анализ процесса формирования эпитаксиального слоя феррошпинелей на (001) плоскости оксида магния в зависимости от состава. Показано, что особенности зарождения и роста пленок феррошпинелей на начальной стадии определяются концентрацией точечных дефектов в подложке, при достижении определенного размера – характером межфазного взаимодействия на границе пленка – подложка и термодинамическими параметрами синтеза.