Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

диагностика плазмы | Конищев, Максим Евгеньевич

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона	505 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#плазма

#магнетронное напыление

#диагностика плазмы

#аргон

#оптическая спектроскопия

#столкновительно-излучательные модели

#спектроскопия плазмы

Title: Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона
Creator: Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
|
Конищев, Максим Евгеньевич
|
Пичугин, Владимир Федорович
|
Пустовалова, Алла Александровна
|
Иванова, Нина Михайловна
|
Сунь, Чжилей
Date: 2017
Description: Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 5. С. 21-29
Language: rus

Created: 15-11-2024

341 Visitors

259 Hits

105 Downloads

Журналы ТГУ Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона