Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

твердость | Захаров, Александр Николаевич

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#нанокомпозиционные материалы

#аморфные углеродные пленки

#магнетронное распыление

#термоэлектрические преобразователи

#антидиффузионные слои

#проводимость

#твердость

#адгезия

Title: Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
Creator: Гренадеров, Александр Сергеевич
|
Оскомов, Константин Владимирович
|
Соловьев, Андрей Александрович
|
Работкин, Сергей Викторович
|
Захаров, Александр Николаевич
|
Семенов, Вячеслав Аркадьевич
|
Оскирко, Владимир Олегович
|
Елгин, Юрий Игоревич
|
Корнева, Ольга Сергеевна
Date: 2017
Description: Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, твердость и адгезию полученных пленок. Показано, что удельное сопротивление a-C-пленок, наносимых распылением графитовой мишени при подаче высоковольтного напряжения смещения на подложку, может быть снижено за счет увеличения доли графитизированного углерода. Добавление Ni в такие пленки позволяет дополнительно снизить их удельное сопротивление. С увеличением содержания Ni происходит снижение твердости и адгезии a-C:Ni-пленок. Полученные значения удельного электрического сопротивления и адгезии a-C:Ni-пленок к термоэлектрическим материалам позволяют использовать их в качестве барьерных антидиффузионных покрытий термоэлектрических модулей.