Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN

doi:10.17223/00213411/65/11/31

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

покрытия | Захаров, Александр Николаевич

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/65/11/31

#дуальное магнетронное распыление

#потоки энергии

#экспериментальные исследования

#покрытия

Title: Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN
Creator: Гренадеров, Александр Сергеевич
|
Захаров, Александр Николаевич
|
Оскирко, Владимир Олегович
|
Сиделев, Дмитрий Владимирович
|
Оскомов, Константин Владимирович
|
Соловьев, Андрей Александрович
Date: 2022
DOI: 10.17223/00213411/65/11/31
Description: Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN. Показано, что при уменьшении коэффициента заполнения импульсов разрядного тока с 40 до 6% поток энергии на подложку увеличивается на 20–30% при неизменной средней мощности разряда. В совокупности со снижением скорости осаждения покрытий в режиме высокой импульсной мощности происходит шестикратное увеличение удельной энергии, которую получает покрытие в процессе роста. Таким образом, регулировку коэффициента заполнения импульсов разрядного тока можно рассматривать в качестве способа управления энергетическим воздействием на напыляемое покрытие, от которого зависят его структура и свойства. Показано, что покрытия TiAlN, полученные при низких значениях коэффициента заполнения импульсов разрядного тока и высоком уровне энергетического воздействия на подложку, обладают высокой твердостью и износостойкостью.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 31-37
Language: rus

Created: 05-12-2022

576 Visitors

578 Hits

5 Downloads

Журналы ТГУ Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN