Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

молибден | Захаров, Александр Николаевич

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления	661 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#тонкие пленки

#молибден

#магнетронное распыление

#магнетронные разряды

#удельное сопротивление

#адгезия

Title: Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Creator: Захаров, Александр Николаевич
|
Соловьев, Андрей Александрович
|
Оскомов, Константин Владимирович
|
Оскирко, Владимир Олегович
|
Семенов, Вячеслав Аркадьевич
|
Сыртанов, Максим Сергеевич
|
Бордулев, Юрий Сергеевич
Date: 2017
Description: Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отличающиеся частотой повторения импульсов и их длительностью. Свойства полученных молибденовых пленок сравнивались со свойствами пленок, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Показано, что использование данного метода позволяет уменьшить удельное сопротивление молибденовых пленок и увеличить их отражение в видимом диапазоне.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 65-69
Language: rus