Authors: Гузеев, Виталий Васильевич

Source: Вестник Томского государственного университета. Химия. 2025. № 38. С. 120-131

Type: статьи в журналах

Date: 2025

Description: Статья посвящена установлению связи скорости химической реакции с изменением термодинамического потенциала реагирующей системы. В процессе химической реакции как неравновесного процесса диссоциация мо ... More

Authors: Чубенко, Яна Борисовна | Гузеев, Виталий Васильевич | Молоков, Петр Борисович | Муслимова, Александра Валерьевна

Source: Вестник Томского государственного университета. Химия. 2025. № 38. С. 31-44

Type: статьи в журналах

Date: 2025

Description: В настоящее время в производстве высокочистых полупроводниковых материалов в РФ применяют фторсодержащие газы высокой чистоты, суммарное содержание примесей в которых не должно превышать 10 ppm при со ... More