Исследованы рентгеновские фотоэлектронные спектры, спектры характеристических потерь и сечения неупругого рассеяния электронов моносилицида железа FeSi. Показано, что спектры сечения неупругого рассеяния электронов имеют преимущества в изучении процессов потерь энергии электронов по сравнению со спектрами потерь энергии отраженных электронов. Анализ тонкой структуры спектров сечения неупругого рассеяния электронов позволил выявить неразрешенные пики, определить их энергии, интенсивность и природу. Различия между энергиями подгоночных пиков потерь в спектрах сечения неупругого рассеяния электронов для FeSi и чистого Fe существеннее, чем химические сдвиги в рентгеновских фотоэлектронных спектрах, что отражает возможность применения тонкой структуры спектров сечения неупругого рассеяния электронов для элементного анализа.