Влияние полярности напряжения на электрическую прочность тонкопленочных конденсаторов

doi:10.17223/00213411/65/3/92

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Влияние полярности напряжения на электрическую прочность тонкопленочных конденсаторов	339 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/65/3/92

#тонкопленочные конденсаторы

#пробой

#радиус закругления микроострия

#смена полярности приложенного напряжения

Title: Влияние полярности напряжения на электрическую прочность тонкопленочных конденсаторов
Creator: Сахаров, Юрий Владимирович
|
Субботина, Анастасия Евгеньевна
Date: 2022
DOI: 10.17223/00213411/65/3/92
Description: Выявлены особенности влияния смены полярности приложенного к обкладкам тонкопленочных конденсаторов напряжения на изменение напряжения электрического пробоя. Установлена причина уменьшения напряжения первого пробоя тонкопленочного конденсатора при смене полярности приложенного напряжения. Данное уменьшение обусловлено сильным увеличением напряженности электрического поля в объеме диэлектрика за счет накопления на микроостриях электродов отрицательного объемного заряда, когда электрод был под отрицательным потенциалом. Данный эффект наблюдается в конденсаторных структурах Al–SiO2–Al и Al–TiO2–Al, что позволяет предположить его универсальность и распространить на весь спектр диэлектрических пленок, используемых в микроэлектронике.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 3. С. 92-96
Language: rus

Created: 30-03-2022

369 Visitors

369 Hits

6 Downloads

Журналы ТГУ Влияние полярности напряжения на электрическую прочность тонкопленочных конденсаторов