Authors: Визирь, Алексей Вадимович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Окс, Ефим Михайлович | Фролова, Валерия Петровна | Черкасов, Александр Алексеевич | Шандриков, Максим Валентинович | Юшков, Георгий Юрьевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 12. С. 3-10

Type: статьи в журналах

Date: 2021

Description: Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого крис ... More

Authors: Визирь, Алексей Вадимович | Гушенец, Василий Иванович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Никоненко, Алиса Владимировна | Окс, Ефим Михайлович | Савкин, Константин Петрович | Фролова, Валерия Петровна | Шандриков, Максим Валентинович | Юшков, Георгий Юрьевич | Бугаев, Алексей Сергеевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 166-173

Type: статьи в журналах

Date: 2020

Description: Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацие ... More

Authors: Артамонов, Игорь Дмитриевич | Визирь, Алексей Вадимович | Бугаев, Алексей Сергеевич | Окс, Ефим Михайлович | Шандриков, Максим Валентинович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 30-33

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования ма ... More