Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона

doi:10.17223/00213411/63/10/166

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/63/10/166

#ионы бора

#плазма

#вакуумные дуги

#планарные магнетроны

#изотопические эффекты

Title: Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона
Creator: Визирь, Алексей Вадимович
|
Гушенец, Василий Иванович
|
Николаев, Алексей Геннадьевич
|
Никоненко, Алиса Владимировна
|
Окс, Ефим Михайлович
|
Савкин, Константин Петрович
|
Фролова, Валерия Петровна
|
Шандриков, Максим Валентинович
|
Юшков, Георгий Юрьевич
|
Бугаев, Алексей Сергеевич
Date: 2020
DOI: 10.17223/00213411/63/10/166
Description: Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацией изотопов бора в магнитном поле и генератора плазмы для нанесения борсодержащих покрытий на основе планарного магнетрона. Общим для данного оборудования является использование катодов, выполненных из гекса-борида лантана. В случае планарного магнетрона также использовался катод из кристаллического бора, нагреваемый в разряде. Показано, что при имплантации кремния пучками ионов изотопов бора 10B+ и 11B+ с дозами 1014-1016 ион/см2 наблюдается изотопический эффект диодных свойств легированной поверхности. Представлены результаты исследований свойств полученных борсодержащих покрытий на модельных материалах: нержавеющей стали 12Х18Н10Т, монокристаллическом кремнии и реакторном сплаве Э110.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 166-173
Language: rus