Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Шандриков, Максим Валентинович | плазма | планарные магнетроны

Add to Quick Collection   All 2 Results

Showing items 1 - 2 of 2.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора
Authors: Визирь, Алексей Вадимович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Окс, Ефим Михайлович | Фролова, Валерия Петровна | Черкасов, Александр Алексеевич | Шандриков, Максим Валентинович | Юшков, Георгий Юрьевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 12. С. 3-10
Type: статьи в журналах
Date: 2021
Description: Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого крис ... More
Add   Модификация поверхности материалов ионами бора на основе разрядных систем вакуумной дуги и планарного магнетрона
Authors: Визирь, Алексей Вадимович | Гушенец, Василий Иванович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Никоненко, Алиса Владимировна | Окс, Ефим Михайлович | Савкин, Константин Петрович | Фролова, Валерия Петровна | Шандриков, Максим Валентинович | Юшков, Георгий Юрьевич | Бугаев, Алексей Сергеевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 166-173
Type: статьи в журналах
Date: 2020
Description: Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацие ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^