Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста | 1 MB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/66/6/13 |