Authors: Николаев, Владимир Иванович | Алмаев, Алексей Викторович | Кушнарев, Богдан Олегович | Печников, Алексей Игоревич | Степанов, Сергей Игоревич | Чикиряка, Андрей Владимирович | Тимашов, Роман Борисович | Щеглов, Михаил Петрович | Бутенко, Павел Николаевич | Черников, Евгений Викторович

Source: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 14. С. 37-41

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 прояв ... More

Authors: Калыгина, Вера Михайловна | Киселева, Ольга Сергеевна | Кушнарев, Богдан Олегович | Олейник, Владимир Леонидович | Петрова, Юлианна Сергеевна | Цымбалов, Александр Вячеславович

Source: Физика и техника полупроводников. 2022. Т. 56, № 9. С. 928-932

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Исследованы электрические и фотоэлектрические характеристики структур Ga2O3/n-GaAs. Пленку оксида галлия получали ВЧ магнетронным напылением на эпитаксиальные слои n-GaAs с концентрацией N_d=9.5·1014 ... More