Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Данилина, Тамара Ивановна

Add to Quick Collection   All 3 Results

Showing items 1 - 3 of 3.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Формирование силицидных пленок металлов ионными методами
Authors: Данилина, Тамара Ивановна | Чистоедова, Инна Анатольевна | Полынцев, Егор Сергеевич
Source: Прикладная физика. 2022. № 6. С. 68-75
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Исследована возможность формирования пленок силицидов металлов ионными методами, реализованными с помощью ионно-плазменного распыления в устройстве на основе пеннинговского разряда, а также комбинацие ... More
Add   Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах
Authors: Данилина, Тамара Ивановна | Троян, Павел Ефимович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 4. С. 8-11
Type: статьи в журналах
Date: 2010
Description: Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены парам ... More
Add   Физические основы технологии микросхем : учебное пособие : [для студентов специальностей 0641, 0648, 0705]
Authors: Данилина, Тамара Ивановна | Воробьев, Григорий Абрамович | Смирнова, Клара Ивановна
Date: 1984
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^