Authors: Артамонов, Игорь Дмитриевич | Визирь, Алексей Вадимович | Бугаев, Алексей Сергеевич | Окс, Ефим Михайлович | Шандриков, Максим Валентинович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 30-33

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования ма ... More

Authors: Визирь, Алексей Вадимович | Гушенец, Василий Иванович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Окс, Ефим Михайлович | Савкин, Константин Петрович | Юшков, Юрий Георгиевич | Тюньков, Андрей Владимирович | Фролова, Валерия Петровна | Шандриков, Максим Валентинович | Бугаев, Алексей Сергеевич | Юшков, Георгий Юрьевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 19-24

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Актуальность исследования процессов генерации пучков и плазмы, содержащих ионы бора, обусловлена их потребностью для ионно-пучковых и плазменных технологий модификации свойств поверхности не только по ... More