Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Визирь, Алексей Вадимович

Add to Quick Collection   All 5 Results

Showing items 1 - 5 of 5.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 12. С. 3-10
Type: статьи в журналах
Date: 2021
Description: Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого крис ... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 166-173
Type: статьи в журналах
Date: 2020
Description: Рассмотрен принцип работы и приведены характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации пучков и плазмы ионов бора: источника ионов бора на основе вакуумной дуги с сепарацие ... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 30-33
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description: Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования ма ... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 19-24
Type: статьи в журналах
Date: 2019
Description: Актуальность исследования процессов генерации пучков и плазмы, содержащих ионы бора, обусловлена их потребностью для ионно-пучковых и плазменных технологий модификации свойств поверхности не только по ... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2015. Т. 58, № 9/3. С. 135-139
Type: статьи в журналах
Date: 2015
Description: Представляются результаты исследования источника, генерирующего пучки ионов газов и металлов, для модификации поверхностных свойств органических полимеров. В качестве основы данного устройства применя ... More
  • «
  • 1
  • »

Date

^