Add to Quick Collection
All 3 Results
Showing items 1 - 3 of 3.
Add All Items to Quick Collection
Source: Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 7. С. 989-994
Type: статьи в журналах
Date: 2014
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 8/3. С. 147-149
Type: статьи в журналах
Date: 2013
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 12. С. 83-88
Type: статьи в журналах
Date: 2010
Description:
Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной пла
... More