Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
статьи в журналах | Толбанов, Олег Петрович | Тяжев, Антон Владимирович | Яскевич, Тамара Михайловна

Add to Quick Collection   All 8 Results

Showing items 1 - 8 of 8.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 12. С. 83-88
Type: статьи в журналах
Date: 2010
Description: Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной пла ... More
  • «
  • 1
  • »
^