https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index en-us 5 Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000668903 Thu 14 Nov 2019 09:53:24 KRAT ]]>