https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index ${session.getAttribute("locale")} 5 Физические основы технологии микросхем : учебное пособие : [для студентов специальностей 0641, 0648, 0705] https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000492393 Tue 14 Feb 2017 09:58:41 KRAT ]]>