https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index en-us 5 Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925026 Tue 13 Dec 2022 14:55:44 KRAT ]]>