https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index ${session.getAttribute("locale")} 5 Применение гель-электролитов на основе метакриловых полимеров для обработки поверхности полупроводниковых монокристаллов https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516149 Mon 30 Sep 2019 09:44:42 KRAT ]]> Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516419 Mon 16 Sep 2019 12:25:48 KRAT ]]>