https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index ${session.getAttribute("locale")} 5 Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005299 Thu 21 Sep 2023 15:47:27 KRAT ]]>