https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Index en-us 5 PHEMT-технология создания монолитных интегральных схем КВЧ-диапазона с проектной нормой от 100 нм https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448616 Mon 02 Sep 2019 10:31:04 KRAT ]]>