Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
газочувствительные свойства

Add to Quick Collection   All 8 Results

Showing items 1 - 8 of 8.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   High oxygen sensitivity of TiO2 thin films deposited by ALD
Authors: Almaev, Aleksei V. | Yakovlev, Nikita N. | Almaev, Dmitry A. | Verkholetov, Maksim G. | Rudakov, Grigory A. | Litvinova, Kristina I.
Source: Micromachines. 2023. Vol. 14, № 10. P. 1875 (1-14)
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: The gas sensitivity and structural properties of TiO2 thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition (ALD) were examined in detail. The TiO2 thin films are deposited using Tetrakis(di ... More
Add   ITO thin films for low-resistance gas sensors
Authors: Almaev, Aleksei V. | Kopyev, Viktor V. | Novikov, Vadim A. | Chikiryaka, Andrei V. | Yakovlev, Nikita N. | Usseinov, Abay B. | Karipbayev, Zhakyp T. | Akilbekov, Abdirash T. | Koishybayeva, Zhanymgul K. | Popov, Anatoli I.
Source: Materials. 2023. Vol. 16, № 1. P. 342 (1-16)
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Indium tin oxide thin films were deposited by magnetron sputtering on ceramic aluminum nitride substrates and were annealed at temperatures of 500 °C and 600 °C. The structural, optical, electrically ... More
Add   Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку
Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович | Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Владимир Иванович | Бутенко, Павел Николаевич | Щеглов, Михаил Петрович | Чикиряка, Андрей Викторович | Печников, Алексей Игоревич
Source: Физика и техника полупроводников. 2023. Т. 57, № 3. С. 145-152
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую ... More
Add   Hydrogen sensors based on Pt/α-Ga2O3:Sn/Pt structures
Authors: Almaev, Aleksei V. | Nikolaev, Vladimir I. | Yakovlev, Nikita N. | Butenko, Pavel N. | Stepanov, Sergey I. | Pechnikov, Aleksei I. | Scheglov, Mikhail P. | Chernikov, Evgeniy V.
Source: Sensors and actuators B : Chemical. 2022. Vol. 364. P. 131904 (1-9)
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Gas sensing properties of Schottky metal-semiconductor-metal (MSM) structures based on α-Ga2O3 epitaxial films with Pt contacts are investigated. The electrical conductivity of the MSM structures expo ... More
Add   Effect of oxygen on the Gas-sensitive properties of α-Ga2O3/ε-Ga2O3 structures
Authors: Almaev, Aleksei V. | Nikolaev, Vladimir I. | Stepanov, Sergey I. | Yakovlev, Nikita N. | Pechnikov, Aleksei I. | Chernikov, Evgeniy V. | Kushnarev, Bogdan O.
Source: ECS meeting abstracts. 2021. Vol. MA2021-01, № 56. P. 1475
Type: статьи в журналах
Date: 2021
Description: Miniature O2 sensors with low energy consumption are of practical interest for the chemical and metallurgical industries, development of systems for analyzing the performance of internal combustion en ... More
Add   Impact of Cr2O3 additives on the gas-sensitive properties of β-Ga2O3 thin films to oxygen, hydrogen, carbon monoxide, and toluene vapors
Authors: Almaev, Aleksei V. | Chernikov, Evgeniy V. | Novikov, Vadim A. | Kushnarev, Bogdan O. | Yakovlev, Nikita N. | Chuprakova, Ekaterina V. | Oleinik, Vladimir L. | Lozinskaya, Anastassiya D. | Gogova, Daniela S.
Source: Journal of vacuum science & technology A. 2021. Vol. 39, № 2. P. 023405-1-023405-11
Type: статьи в журналах
Date: 2021
Description: High-temperature β-Ga2O3:Cr2O3-based sensors sensitive to oxygen- and hydrogen-containing gases have been developed and studied. Magnetron cosputtering is the method of choice for the thin film synthe ... More
Add   Процессы формирования тонкопленочных и дисперсных материалов состава Ti–Si–Co–О, их газочувствительные свойства
Authors: Бричков, Антон Сергеевич
Source: Вестник Кузбасского государственного технического университета. 2013. № 4. С. 100-103
Type: статьи в журналах
Date: 2013
Add   Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства
Authors: Максимова, Надежда Кузьминична | Новиков, Владимир Александрович | Рудов, Федор Валентинович | Сергейченко, Надежда Владимировна | Черников, Евгений Викторович | Севастьянов, Евгений Юрьевич
Source: Физика и техника полупроводников. 2012. Т. 46, вып. 6. С. 820-828
Type: статьи в журналах
Date: 2012
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^