Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
2010
|
математическое моделирование
|
магнетронная плазма
|
Князева, Анна Георгиевна
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
662 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
Creator
Князева, Анна Георгиевна
Creator
Шанин, Сергей Александрович
Subject
магнетронное напыление
наноструктурные покрытия
математическое моделирование
магнетронная плазма
Date
2010
Description
Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Физико-технический факультет
Журналы ТГУ
Identifier
koha:001130399
https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399
Type
статьи в журналах
Source
Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 1. С. 76-81
Language
rus
19 Visitors
13 Hits
9 Downloads
Preview
Физико-технический факультет
Журналы ТГУ
Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
^ DIV >