Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
2023 | ионная имплантация

Add to Quick Collection   All 3 Results

Showing items 1 - 3 of 3.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: IEEE sensors journal. 2023. Vol. 23, № 3. P. 1885-1895
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: The effect of the Si+ ion implantation on the gas-sensing properties of single-crystal (0001) α-Ga2O3 films grown by halide vapor phase epitaxy (HVPE) has been studied. It is established that irradiat ... More
Source: Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2023. Т. 20, № 2. С. 157-167
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Методом просвечивающей электронной дифракционной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии на фольгах, вырезанных перпендикулярно обработанной поверхности образца, проведено исслед ... More
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 4. С. 134-137
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субм ... More
  • «
  • 1
  • »
^