Рассматривается явление высокотемпературной суперлокализации пластической деформации монокристаллов сплава Ni3Ge, при котором пластическая деформация локализуется в полосе шириной несколько десятков микронов, достигая значений равных тысячам процентов. С помощью методов обратного рассеяния электронов и синхротронного излучения исследовано структурное состояние в полосе суперлокализации. Показано, что явление супелокализации пластической деформации связано с образованием поликристаллической многоуровневой субструктуры в исходном монокристалле. Получены бимодальные распределения зерен по размерам и разориентировкам в поликристаллической полосе. В полосе суперлокализации наблюдаются структурные области с аморфным состоянием вещества при высоких гомологических температурах испытания Т > 0.5Tпл. Обнаружено частичное разрушение дальнего атомного порядка.