Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
Мельничук, Сергей Васильевич | Семухин, Борис Семенович

Add to Quick Collection   All 2 Results

Showing items 1 - 2 of 2.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Пространственно-временное распределение электрического поля в Hе–N2-плазме высоковольтного импульсного разряда пучкового типа
Authors: Мельничук, Сергей Васильевич | Борисов, Алексей Владимирович | Семухин, Борис Семенович | Бардин, Станислав Сергеевич | Демкин, Владимир Петрович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2012. Т. 55, № 10. С. 106-111
Type: статьи в журналах
Date: 2012
Add   Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа
Authors: Демкин, Владимир Петрович | Мельничук, Сергей Васильевич | Семухин, Борис Семенович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 11/2. С. 33-36
Type: статьи в журналах
Date: 2010
Description: Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^