Authors: Юрьев, Юрий Николаевич | Бордулев, Юрий Сергеевич | Харисова, Анастасия Евгеньевна | Селезнева, Татьяна Владимировна | Савельев, Александр Игоревич | Казимиров, Артем Игоревич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 191-198

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Рассмотрены некоторые закономерности формирования покрытий станнида триниобия при их осаждении методом магнетронного распыления с использованием стехиометрической мишени. Определен оптимальный режим р ... More

Authors: Юрьев, Юрий Николаевич | Харисова, Анастасия Евгеньевна | Селезнева, Татьяна Владимировна | Савельев, Александр Игоревич | Казимиров, Артем Игоревич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 199-204

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Исследованы некоторые закономерности формирования покрытий на основе системы ниобий – олово при использовании магнетронного распыления. Покрытия получены как в режиме послойного, так и одновременного ... More

Authors: Кулинич, Иван Владимирович | Казимиров, Артем Игоревич | Шестериков, Евгений Викторович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 2. С. 63-68

Type: статьи в журналах

Date: 2021

Description: Представлена технология изготовления Т-образных затворов GaAs-транзисторов с использованием оптической литографии и уникального метода направленного углового напыления тонких алюминиевых пленок. Миним ... More